ウェットコーティングに必須である、コート前の濡れ性改質、表面洗浄装置として、UVオゾン洗浄表面改質装置（UVオゾンクリーナー、UVオゾン洗浄表面改質装置などと呼ばれています）とプラズマ洗浄表面改質装置のレンタルをご準備いたしました。
紫外線洗浄表面改質装置（UVオゾンクリーナー）
照射エリア 5cm × 5cmの小型タイプから30cm × 35cmの大型タイプまでラインアップがございます。
排気されるオゾンの分解装置のご用意もございます。
エキシマ照射装置
172nmを主波長としたエキシマ照射ユニットとスキャン用ステージ、オゾン分解装置を一体化し、100Vの電源のみで、簡単にかつ安全にエキシマ表面改質の実験が出来る装置です。
【特徴】
- スキャン用ステージにより従来より大面積の処理が可能。
- オゾン分解装置一体型で、排気設備などが不要。
プラズマ表面改質装置
型式：PS150
装置サイズ
＜本体＞ W530×D400×H150（㎜）約15㎏
＜ポンプ＞W180×D334×H156（㎜）約9.5㎏
真空到達時間：30秒以内
チャンバーサイズ
W150×D150×H35（㎜）
定格電圧：AC100V
