コンパクトな光源一体型筐体に膜厚計に最適な分光器を搭載したスタンダードな機種です。非接触で測定可能で、コーティング後のワーク表面を気づ付けずにすみます。
測定波長と測定可能な膜厚を幅広くカバーしております。
測定可能波長・・・380nm～1050nm
測定可能膜厚・・・100nm～60μm
反射分光式膜厚計の測定原理
透明膜に光を当てると膜の表面に反射する光（R1）と膜の内部で屈折して基板表面で反射する光（R2）が重なり、光が強められたり弱められたりします。
このことを「光の干渉」と呼びます。光の位相が一致すると強度が強まり、位相がずれると弱まります。
右図は「光の干渉」のイメージ図です。「反射分光式膜厚計」はこの光の干渉(波長)を解析することにより膜厚値として換算し、測定する方法です。
算出理論
C/F（カーブフィッティング、Curve Fitting）
測定された反射率と理論値の反射率の差の二乗が最も小さくなる膜厚値を求めます。
波形が3個以下（膜厚1μm程度）の時の使用を推奨。
FFT（高速フーリエ変換、Fast Fourier Transform）
ある波長幅に膜厚を示す干渉波形が何個あるかをFFT計算により求め、これから1周期の波長幅が導かれる。
波形が3個以上（膜厚1μm程度）の時の使用を推奨。
| 型式 | AFW-100W |
| 用途 | 一般膜厚用 |
| 装置構成 | ユニット本体、測定スタンド、2分岐ファイバー（1.5m）、PC、膜厚測定サンプル |
| 測定波長範囲 | 380nm～1050nm |
| 膜厚測定範囲 | 100nm～1μm（カーブフィッティング法） |
| 1μm～60μm（FFT法） | |
| 計測再現性 | 0.2％～1%（膜質依存による） |
| 測定スポット径 | 約7mm |
| 光源 | 12V-50W ハロゲン |
| 測定理論 | カーブフィッティング法 / FFT法 |
| 外形寸法（mm） | 本体：W230×D230×H135 |
| 測定スタンド：W150×D150×H115 | |
| 概算重量 | 5.5kg ※PCを除く |
| ユーティリティ | AC100V 50/60Hz |
| 消耗品 | ハロゲンランプ |
