周辺装置

風防ボックス

除振台とは、地盤や床から伝わる振動を遮断する装置で、精密機器の精度・性能維持に不可欠であり、さまざまな分野で使用されています。

３次元空気ばねを採用し、大型除振台並の性能を有し、搭載盤がステンレスのため、クリーンルームへの導入も可能です。

塗布液を一定の液面に保ち、また塗布液を循環させてフィルターをかけて不純物を除去するシステムです。

処理タンク：４面オーバーフロー方式（サブタンク付）タンクサイズ・フィルター精度・循環方式（Air, Chemical）・流量などお客様の仕様に合わせてカスタマイズ致します。

粘度計（比重計）による濃度管理、熱交換器による液温管理も追加可能です。

基板サイズに合わせたタンクをオーダーメードでお作りします。材質：SUS・ガラス・テフロン・テフロンコート・パイレックス・石英　など

特殊形状の低圧水銀ランプを採用することで、生産用装置に遜色のない高出力・高均斉を可能にしました。
コンパクト＆ローコスト、設置が簡単な卓上型の実験装置。省スペース、低価格を実現し、簡単にディップコーティングの前処理が可能です。

小型装置を少量生産などに用いる場合など、普段の作業性を上げる為の専用のコントロールボックス。タイマーなどを不用意に触ることを回避でき、作業者の方がより安全、効率的に作業できます。

有機溶剤等引火性液体のご使用の際、センサ部、駆動モータ部をエアパージし、安全性の向上を図ります。