UAX-0405AS / UMX-0405AS
研究用ディップコーティング用除振台。当社装置サイズにあわせた仕様です。
超低速での動作時に周りの振動を除き、より平滑な厚さの製膜に必須です。
【特長】
- 当社ディップコーターの除振に最適な周波数帯を採用しています。
- 搭載盤がステンレスのため、クリーンルームへの導入も可能です。
- ３次元空気ばねを採用し、大型除振台並の性能を有します。
| 形式 | UAX-0405AS | UMX-0405AS |
| 固有振動数 | 垂直（Vertical）1.5～2.5Hz 水平（Horizontal）3.0～3.8Hz |
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| 除振方式 | 全方位対応三次元空気ばね |
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| 水平維持方式 | メカニカルバルブによる自動式（供給空気圧0.25～0.5MPa） | 手押しポンプによる手動式 |
| 搭載盤 | ステンレス仕上げ | |
| 搭載可能重量 | 100kg | |
| ステージサイズ | W540 × D440 | W540 × D440 |
| 全体寸法 ※1 | W540 × D459 × H57（mm） | W540 × D459 × H57（mm） |
| 製品重量 | 23kg | |
| 標準付属品 | φ6mm×5mチューブ・ワンタッチ継ぎ手 PT1/4オネジ | ハンドポンプ・虫回しドライバー |
| オプション | 集中排気機構、コンプレッサー | 無し |
※1 エアー供給口を含む
