紫外線照射装置やエキシマ照射装置等、オゾンの発生する小型装置向けに、コンパクトなオゾン分解装置(オゾン分解ユニット)を発売いたしました。

当社製装置だけでなく、他社製のエキシマ照射装置にも対応可能です。

o3分解装置

特長

  • 高濃度オゾン除去用に開発されたハニカムオゾンフィルターを採用。
  • 分解率を向上させた反応型触媒タイプのため、劣化が少なく、寿命の長いフィルターです。
  • 不燃タイプですので、安心してご使用頂けます

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